E.V.Gerova
【姓名】 E.V.Gerova
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 磁控溅射淀积,AlN薄膜,反应性,滞后回线,基片温度,氢气氛,氮气氛,AIN薄膜,门电极,绝缘体,金属化,铝淀积,溅射,介电特性,磁控,平带电压,氮气,滞后作用,负电荷,溶解速度,
【工作单位】 保加利亚索非亚机械和电机工程研究所
【曾工作单位】 保加利亚索非亚机械和电机工程研究所;
【所在地域】
今年新增/文献篇数 核心期刊论文数 基金论文数 第一作者篇数 总被引频次 总下载频次
0/1 0 0 1 0 46
中国期刊全文数据库    共找到1篇
[1]E.V.Gerova,罗丹.反应性磁控溅射淀积AlN薄膜[J]压电与声光.1982,(03)
更多