谭志敏
【姓名】 谭志敏
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 超薄单晶硅薄膜,热导率测量,稳态加热法,测试结构,全对称,埋氧层,金属条,界面热阻,理论预测,厚度,绝缘层,加热电阻,隔离,测量原理,顶层硅,体硅,等温线,优化,横向,系统误差,
【工作单位】 清华大学
【曾工作单位】 清华大学;
【所在地域】 北京海淀
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[1]张皓;吕志超;田立林;谭志敏;刘理天;李志坚;.采用全对称测试结构的超薄单晶硅薄膜热导率测量[J]半导体学报.2006,(11)
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