武慧珍
【姓名】 武慧珍
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 超浅结,等离子体,杂质浓度分布,电化学电容-电压,半导体电学表征,微分霍耳,载流子浓度,载流子迁移率,反应离子刻蚀,测试结果,掺杂,深度分布,离子注入,表征,电压法,结深,样品,深度分辨率,半导体,刻...
【工作单位】 复旦大学
【曾工作单位】 复旦大学;
【所在地域】 上海
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[1]武慧珍;茹国平;张永刚;金成国;水野文二;蒋玉龙;屈新萍;李炳宗;.电化学电容-电压法表征等离子体掺杂超浅结[J]半导体学报.2006,(11)
[2]武慧珍;茹国平;黄魏;蒋玉龙;屈新萍;李炳宗;.反应离子刻蚀剥层的微分霍耳法表征超浅pn结[J]复旦学报(自然科学版).2007,(01)
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