徐元直
【姓名】 徐元直
【职称】
【研究领域】 工业通用技术及设备;物理学;材料科学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 非晶态碳膜,磁过滤阴极真空弧,过滤线圈电流,乙炔的体积流量,结构和性能,摩擦因数,双等离子体,薄膜厚度,弹性模量,显微硬度,机械性能,制备,粗糙度,衬底材料,单晶硅片,薄膜表面,晶粒度,应力,真空室,...
【工作单位】 北京师范大学
【曾工作单位】 北京师范大学;
【所在地域】 北京
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