吴元庆
【姓名】 吴元庆
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 砷化镓,碳浓度,硼含量,杂质含量,晶体生长,半绝缘,杂质浓度,位错密度,水含量,熔体,电阻率,分离机理,硼浓度,工艺,碳含量,单晶,生长过程,真空,控制措施,离子注入,
【工作单位】 中国电子科技集团第四十六研究所
【曾工作单位】 中国电子科技集团第四十六研究所;
【所在地域】 天津
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[1]周春锋;林健;郭鑫;吴元庆;张亮;赖占平;.LEC-GaAs晶体中残留杂质碳和硼的控制[J]半导体技术.2007,(04)
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