张颍
【姓名】 张颍
【职称】
【研究领域】 工业通用技术及设备;物理学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 多晶硅薄膜,纳米薄膜,压阻特性,淀积温度,应变系数,温度特性,压阻效应,热电子发射电流,势垒区,电阻温度系数,电阻率,薄膜结构,中性区,晶粒度,隧道电流,掺杂浓度,重掺杂,隧道电阻,实验结果,阻模型,
【工作单位】 哈尔滨工业大学
【曾工作单位】 哈尔滨工业大学;
【所在地域】 黑龙江哈尔滨
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[1]揣荣岩;刘晓为;潘慧艳;王蔚;张颍;.不同淀积温度多晶硅纳米薄膜的压阻特性[J]传感技术学报.2006,(05)
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