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张丙辰
【姓名】
张丙辰
【职称】
【研究领域】
物理学;
【研究方向】
【发表文献关键词】
对向靶溅射,膜性质,垂直磁记录介质,溅射条件,基板温度,磁控溅射,射频溅射,实验研究,膜结构,参数,氩气压力,磁性,取向度,微观结构,电流,负偏压,新型,系统,因素,引言,
【工作单位】
天津大学
【曾工作单位】
天津大学;
【所在地域】
天津
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共找到1篇
[1]姜恩永;单慧波;张西祥;张丙辰;.
对向靶溅射参数对CoCr膜性质的影响
[J]磁记录材料.1989,(01)
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