孙广毅
【姓名】 孙广毅
【职称】 副教授;
【研究领域】 无线电电子学;仪器仪表工业;计算机软件及计算机应用;
【研究方向】 MEMS
【发表文献关键词】 MEMS,电容式微加速度计,虚拟工艺,工艺仿真,结构设计,偏轴灵敏度,平行板电容,差分电容,键合工艺,惯性质量,相结合,电容式加速度计,机械结构,敏感方向,刻蚀工艺,静电力,仿真结果,谐振频率,下拉电...
【工作单位】 南开大学
【曾工作单位】 南开大学;
【所在地域】 天津南开
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[1]孙广毅.高深宽比微纳结构模拟、加工及应用[D].南开大学.2010
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[2]孙广毅;赵新;卢桂章;.基于三维数据场可视化方法的虚拟MEMS加工工艺的研究[A].天津市自动化学会第十四届学术年会论文集.2005-12-01
[3]孙广毅;赵新;卢桂章;.基于技能知识和过程虚拟的虚拟MEMS制造系统研究[A].第25届中国控制会议论文集（中册）.2006-08-01
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