陈新安
【姓名】 陈新安
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;材料科学;建筑科学与工程;
【研究方向】
【发表文献关键词】 Si-Si直接键合,抽取效应,本征SiO_2,杂质分布,Si/Si直接键合,界面应力,模型,模拟软件,杂质扩散系数,剪切应力,剥离应力,正应力,硅片,热应力,界面,分布模型,本征氧化层,杂质浓度分布,...
【工作单位】 绍兴文理学院
【曾工作单位】 绍兴文理学院;
【所在地域】 浙江绍兴
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[4]陈新安;黄庆安;.Si/Si直接键合界面热应力模型及模拟[J]微纳电子技术.2006,(11)
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