赵立新
【姓名】 赵立新
【职称】 副研究员;
【研究领域】 仪器仪表工业;工业通用技术及设备;无线电电子学;
【研究方向】 微电子专用设备研究
【发表文献关键词】 改进的亚象素定位,对准系统,步进扫描,扫描单元,大面积光刻,生物芯片,图像处理,共聚焦成像技术,亚象素,对准标记,电荷耦合器件,检测仪,细分定位,光源,共聚焦成像,蛋白芯片,自发光,共聚焦,自动调焦,...
【工作单位】 中国科学院光电技术研究所
【曾工作单位】 中国科学院光电技术研究所;
【所在地域】 成都
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[9]严伟;佟军民;陈大鹏;胡松;赵立新;杨勇;蒋文波;周绍林;陈旺富;.微悬臂梁阵列成像系统光学特性分析[J]四川大学学报(自然科学版).2009,(04)
[10]李金龙;胡松;赵立新;.双工件台光刻机中的焦面控制技术[J]光学学报.2012,(12)
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