谷士斌
【姓名】 谷士斌
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 热丝法,氢处理,多晶硅锗,锗薄膜,优化,工艺条件,温度特性,电导激活能,测试材料,暗电导,处理效果,缺陷态,处理技术,处理时间,衬底,考察,缩短,采用,减少,通过,
【工作单位】 南开大学
【曾工作单位】 南开大学;
【所在地域】 天津南开
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[1]张建军;胡增鑫;谷士斌;赵颖;耿新华;.热丝法氢处理多晶硅锗薄膜(英文)[J]半导体学报.2007,(03)
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