苏元军
【姓名】 苏元军
【职称】
【研究领域】 工业通用技术及设备;物理学;材料科学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 非晶硅,薄膜,激光晶化,纳米微晶硅,结构分析,平均晶粒尺寸,激光功率,结晶度,高分辨透射电镜,单晶硅,溅射系统,相变过程,技术实现,前驱物,拉曼光谱,变化趋势,纳米晶,多晶硅,制备,半导体材料,
【工作单位】 大连理工大学
【曾工作单位】 大连理工大学;
【所在地域】 大连
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[1]苏元军;徐军;朱明;范鹏辉;董闯;.利用等离子体辅助脉冲磁控溅射实现多晶硅薄膜的低温沉积[J]物理学报.2012,(02)
[2]朱明;苏元军;范鹏辉;徐军;.等离子体源辅助磁控溅射法低温(200℃)制备多晶硅薄膜[J]真空.2012,(03)
[3]庞宏杰;王存山;张凯舒;苏元军;裴继斌;.非晶硅薄膜激光晶化及其结构分析[J]应用激光.2007,(01)
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[1]苏元军.ICP辅助磁控溅射制备多晶硅薄膜[D].大连理工大学.2011
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[1]朱明;苏元军;范鹏辉;徐军;.等离子体源辅助磁控溅射法低温(<200℃)制备多晶硅薄膜[A].TFC'11全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集.2011-08-25
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