张然
【姓名】 张然
【职称】 副教授;
【研究领域】 仪器仪表工业;无线电电子学;计算机软件及计算机应用;
【研究方向】 微执行器
【发表文献关键词】 CMP,分散剂,铜,去除率,粗糙度,质量分数,二乙烯三胺,碱性抛光液,实验研究,磨料粒子,抛光质量,氧化剂,吡啶,化学键作用,水溶胶,分散性,极性吸附,纳米,腐蚀作用,主要原因,
【工作单位】 大连理工大学
【曾工作单位】 大连理工大学;
【所在地域】 辽宁大连
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