陈明鑫
【姓名】 陈明鑫
【职称】
【研究领域】 工业通用技术及设备;材料科学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 多晶硅薄膜,金属诱导晶化,低温晶化,非晶硅薄膜,晶化过程,退火温度,制备技术,晶化机理,均匀性,晶化温度,薄膜材料,晶粒尺寸,晶化时间,激光退火,太阳能电池,混合相,退火时间,准分子,大面积,原子,
【工作单位】 华南理工大学
【曾工作单位】 华南理工大学;
【所在地域】 广东广州
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[1]蔡捷宏;姚若河;陈明鑫;许佳雄;陈岳政;.金属诱导法制备多晶硅薄膜的研究进展[J]轻金属.2006,(11)
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