岳萍
【姓名】 岳萍
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 电子技术,MEMS,湿法刻蚀,KOH,温度,刻蚀速率,磁力搅拌器,恒温水浴,反应速率,台阶高度,掩模,溶液浓度,实验装置,刻蚀特性,硅表面,选择性,搅拌装置,微机械陀螺,速率下降,表面粗糙度,
【工作单位】 北京信息工程学院
【曾工作单位】 北京信息工程学院;
【所在地域】 北京
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[1]刘宇;毛旭;岳萍;张福学;.恒温磁力搅拌下KOH刻蚀Si的研究[J]电子元件与材料.2006,(12)
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