金浙萍
【姓名】 金浙萍
【职称】
【研究领域】 电力工业;
【研究方向】
【发表文献关键词】 PZT薄膜,湿法刻蚀,雾化法,刻蚀液,刻蚀速率,白色残留物,微图形,侧蚀,浸入法,样品,光刻胶,凝胶法,微驱动器,干法刻蚀,微传感器,表面,关键技术,制备,各向同性刻蚀,底电极,
【工作单位】 中国科学技术大学
【曾工作单位】 中国科学技术大学;
【所在地域】 安徽合肥
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[1]金浙萍;许晓慧;吴建华;吴亚雷;褚家如;.PZT铁电薄膜的雾化湿法刻蚀技术研究[J]微细加工技术.2006,(04)
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