李鹏
【姓名】 李鹏
【职称】
【研究领域】 工业通用技术及设备;物理学;仪器仪表工业;
【研究方向】
【发表文献关键词】 微电子机械系统,噪声机制,微机械悬臂梁,分辨率,机械噪声,频率抖动,谐振频率,吸附,理论模型,脱附,统计分布,传感器,噪声模型,设计规则,随机变化,纳米尺度,微米尺度,微机械结构,振幅噪声,温漂,
【工作单位】 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
【曾工作单位】 中国科学院上海微系统与信息技术研究所;
【所在地域】 上海
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