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【姓名】	于海涛
【职称】	研究员;
【研究领域】	材料科学;自动化技术;仪器仪表工业;
【研究方向】	微纳机电系统工艺与器件、谐振式微悬臂梁生化传感器
【发表文献关键词】	微电子机械系统,噪声机制,微机械悬臂梁,分辨率,机械噪声,频率抖动,谐振频率,吸附,理论模型,脱附,统计分布,传感器,噪声模型,设计规则,随机变化,纳米尺度,微米尺度,微机械结构,振幅噪声,温漂,
【工作单位】	中国科学院上海微系统与信息技术研究所
【曾工作单位】	中国科学院上海微系统与信息技术研究所;
【所在地域】	上海

中国期刊全文数据库 共找到13篇

[1]殷智伟;张学林;姚镭;于海涛;李昕欣;.基于MEMS芯片的磁性材料TEM表征技术[J]微纳电子技术.2023,(08)

[2]陆天海;费超;徐大诚;于海涛;.气敏材料表征的悬臂梁微称重温控系统设计[J]仪表技术与传感器.2021,(12)

[3]费超;陆天海;于海涛;徐大诚;.微悬臂梁气敏材料表征系统中基线校正方法[J]现代电子技术.2021,(17)

[4]戴荣;于海涛;王权;.基于Duffing系统的谐振式微悬臂梁传感器微弱谐振信号检测[J]机械工程学报.2020,(13)

[5]徐善轩;任伟;吴伟;任艳波;刘民;彭欣;李昕欣;于海涛;.基于DSP的集成谐振式微悬臂梁便携式气体检测仪[J]仪表技术与传感器.2018,(03)

[6]任艳波;于海涛;赵伟;刘民;李昕欣;.基于LabVIEW的谐振式微悬臂梁传感器智能激励与检测系统[J]仪表技术与传感器.2015,(12)

[7]柴光飞;刘民;于海涛;许鹏程;徐铁刚;李昕欣;.基于FPGA的谐振悬臂梁传感器智能接口电路[J]仪表技术与传感器.2013,(03)

[8]杨天天;于海涛;许鹏程;李昕欣;.用于痕量胺类同系物检测的谐振式微悬臂梁传感器[J]传感技术学报.2011,(09)

[9]俞锋;李昕欣;于海涛;.平面内谐振式微悬臂梁生化传感器的设计与制造[J]传感技术学报.2012,(07)

[10]甘小华;刘民;于海涛;许鹏程;李昕欣;.微悬臂谐振传感器闭环接口和嵌入式频率电路[J]微纳电子技术.2010,(06)

今年新增/文献篇数	核心期刊论文数	基金论文数	第一作者篇数	总被引频次	总下载频次
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