徐路
【姓名】 徐路
【职称】
【研究领域】 工业通用技术及设备;物理学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 硬质膜,DLC,非平衡磁控溅射,电弧离子镀,霍尔离子源,摩擦因数,性能研究,薄膜,表面形貌,离子源辅助,掺杂,过渡层,相结合,沉积速率,制备,电学性能,力学性能,键结构,内部结构,分析测试,
【工作单位】 广东省深圳市国家八六三计划材料表面工程技术研究开发中心
【曾工作单位】 广东省深圳市国家八六三计划材料表面工程技术研究开发中心;
【所在地域】 广东深圳
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[1]于大洋;马胜歌;张以忱;徐路;.非平衡磁控溅射结合电弧离子镀制备掺杂DLC硬质膜性能研究[J]中国表面工程.2006,(06)
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