陈有梅
【姓名】 陈有梅
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】 基于准LIGA技术的MEMS制造误差修正方法计算机仿真
【发表文献关键词】 接近式光刻,柯勒照明,蝇眼透镜,计算机模拟,衍射光场,基尔霍夫衍射理论,点光源,光刻胶,光场分布,非相干叠加,光源阵列,光强分布,掩模,霍普金斯,平行光束,模拟计算,焦平面,分析比较,坐标系,模型,
【工作单位】 中国科学技术大学
【曾工作单位】 中国科学技术大学;
【所在地域】 安徽合肥
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[1]陈有梅;郑津津;周洪军;沈连婠;张自军;.接近式光刻衍射光场的快速计算机模拟[J]中国科学技术大学学报.2007,(01)
[2]郑津津;陈有梅;周洪军;田杨超;刘刚;李晓光;沈连婠;.SU-8紫外深度光刻的误差及修正(英文)[J]光学精密工程.2007,(12)
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