潘昕
【姓名】 潘昕
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 微机电系统,硅微电容传声器,防粘连,微突出,牺牲层,硅微传声器,振动膜,制备,背板结构,成品率,粘连现象,单晶硅,氮化硅,灵敏度,工艺流程,硼掺杂,刻蚀,工艺方案,干燥技术,偏置电压,
【工作单位】 中国科学院声学研究所
【曾工作单位】 中国科学院声学研究所;
【所在地域】 北京
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[1]潘昕;汪承灏;徐联;魏建辉;.硅微电容传声器的防粘连结构[J]传感技术学报.2006,(05)
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[1]潘昕;汪承灏;徐联;魏建辉;.防粘连硅微电容传声器[A].2006’和谐开发中国西部声学学术交流会论文集.2006-08-01
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