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黄哲琳
【姓名】
黄哲琳
【职称】
【研究领域】
自动化技术;
【研究方向】
【发表文献关键词】
传感器,电容式,温度测试,MEMS,温度效应,测试结果,温度影响,制作工艺,硅键合,测试装置,微型,硅片,离子反应刻蚀,工作范围,灵敏度,线性,可靠性,密封腔体,局部真空,器件,
【工作单位】
厦门大学
【曾工作单位】
厦门大学;
【所在地域】
福建厦门
学术成果产出统计表
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共找到1篇
[1]黄哲琳;冯勇建;.
微型电容式压力传感器中的温度效应
[J]传感技术学报.2006,(05)
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