张发荣
【姓名】 张发荣
【职称】
【研究领域】 电力工业;
【研究方向】
【发表文献关键词】 甚高频等离子体增强化学气相沉积,微晶硅薄膜太阳电池,高沉积速率,太阳能电池,硅烷,高速率,硅太阳电池,制备材料,前提条件,非晶硅薄膜,电学特性,暗电导,硅材料,结构特性,器件质量,浓度,光敏性,测试结...
【工作单位】 南开大学
【曾工作单位】 南开大学;
【所在地域】 天津
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中国期刊全文数据库    共找到2篇
[1]张晓丹;张发荣;赵颖;陈飞;孙建;魏长春;耿新华;熊绍珍;.1nm/s高速率微晶硅薄膜的制备及其在太阳能电池中的应用[J]半导体学报.2007,(02)
[2]葛洪;张晓丹;岳强;张发荣;赵静;赵颖;.大面积VHF-PECVD用多点馈入平行板电极馈入点优化的数值研究[J]真空科学与技术学报.2008,(04)
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中国重要会议全文数据库    共找到1篇
[1]张晓丹;张发荣;葛洪;赵颖;.VHF-PECVD沉积微晶硅薄膜的等离子体模拟研究[A].第十届中国太阳能光伏会议论文集：迎接光伏发电新时代.2008-09-19
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