邢雯
【姓名】 邢雯
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 碲镉汞,ICP增强RIE,深微台面列阵,剖面轮廓,刻蚀气体,反应离子刻蚀,刻蚀深度,底部宽度,隔离,开口,坡度角,等离子体,刻蚀沟槽,干法刻蚀,工艺设计,金刚刀,高占空比,各向同性,深宽比,工艺条件,
【工作单位】 中国科学院上海技术物理研究所
【曾工作单位】 中国科学院上海技术物理研究所;
【所在地域】 上海
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[1]解晓辉;廖清君;杨勇斌;马伟平;邢雯;陈昱;周诚;胡晓宁;.HgCdTe甚长波红外光伏器件的光电性能[J]红外与激光工程.2013,(05)
[2]周文洪;叶振华;邢雯;胡晓宁;丁瑞军;何力;.碲镉汞深微台面列阵干法隔离的轮廓研究[J]激光与红外.2006,(11)
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中国重要会议全文数据库    共找到1篇
[1]解晓辉;廖清君;杨勇斌;马伟平;邢雯;陈昱;周诚;胡晓宁;.HgCdTe甚长波红外光伏器件的光电性能[A].第十届全国光电技术学术交流会论文集.2012-06-12
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