马云芳
【姓名】 马云芳
【职称】
【研究领域】 工业通用技术及设备;物理学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 ZnS薄膜,射频磁控溅射,膜厚,微结构,应力分布,不同厚度,平均晶粒尺寸,晶格常数,张应力,应力差,闪锌矿,晶体结构,薄膜应力,相移法,立方晶型,平均应力,基片,制备,薄膜结构,衬底,
【工作单位】 安徽大学
【曾工作单位】 安徽大学;
【所在地域】 安徽合肥
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[1]马锦;马云芳;宋学萍;孙兆奇;.厚度对ZnS薄膜结构和应力的影响[J]合肥工业大学学报(自然科学版).2007,(01)
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