skari
【姓名】 skari
【职称】
【研究领域】 无机化工;
【研究方向】
【发表文献关键词】 直流电弧等离子喷射化学气相沉积,自支撑金刚石膜,多层结构,内应力状态,金刚石自支撑膜,复合多层膜,纳米复合,纳米金刚石,制备技术,扫描电镜,纳米层,压应力,混合气体,微米层,拉应力,组织结构,射线衍射...
【工作单位】 北京科技大学
【曾工作单位】 北京科技大学;
【所在地域】 北京海淀
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[1]兰昊;陈广超;戴风伟;李彬;唐伟忠;李成明;宋建华;skari J.;黑立富;佟玉梅;吕反修;.微/纳米复合多层金刚石自支撑膜的制备及应力研究[J]金刚石与磨料磨具工程.2007,(03)
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