胡代群
【姓名】 胡代群
【职称】
【研究领域】 机械工业;无线电电子学;金属学及金属工艺;
【研究方向】 离子注入技术的研究
【发表文献关键词】 离子注入机,差分密封,扫描机构,真空泵,垂直扫描机构,差分抽气系统,差分抽气,气体通道,真空度,靶室,计算,金属颗粒,分子流,漏气率,流导,工作压力,动密封,单晶片,气体流量,垂直,轴套,直线运动,设...
【工作单位】 湘潭大学
【曾工作单位】 湘潭大学;
【所在地域】 湖南湘潭
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[1]胡代群;刘求益;.单晶片离子注入机垂直扫描机构的差分密封设计[J]机械工程师.2007,(02)
[2]胡代群;刘求益;.单晶片离子注入机垂直扫描机构差分密封的设计[J]真空电子技术.2007,(02)
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