钱清
【姓名】 钱清
【职称】
【研究领域】 仪器仪表工业;航空航天科学与工程;无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 微加速度计,微机械加工,各向异性腐蚀,悬臂梁结构,质量块,谐振频率,电容式加速度计,块结构,深反应离子刻蚀,硅片,加工工艺,横向灵敏度,硅微机械,品质因子,阻尼孔,三明治,惯性器件,工艺流程,惯性质量...
【工作单位】 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
【曾工作单位】 中国科学院上海微系统与信息技术研究所;
【所在地域】 上海
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[1]秦嵩;焦继伟;王敏昌;钱清;.圆片级封装铝锗键合后残余应力的测量和分析[J]传感器与微系统.2016,(10)
[2]王育才;焦继伟;段飞;张颖;宓斌玮;李金鹏;钱清;王跃林;.一种具有“8悬臂梁-质量块”结构的新型硅微加速度计[J]半导体学报.2007,(05)
[3]段飞;焦继伟;王育才;张颖;宓斌玮;李金鹏;钱清;王跃林;.基于“8悬臂梁-质量块”结构的新颖x轴音叉式硅微机械陀螺[J]半导体学报.2007,(10)
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