陈丹
【姓名】 陈丹
【职称】 工程师;
【研究领域】 金属学及金属工艺;材料科学;工业通用技术及设备;
【研究方向】
【发表文献关键词】 湿法蚀刻,钛,微电子制造,蚀刻液,金属化层,蚀刻速度,蚀刻工艺,氢氟酸,制造工艺,干法蚀刻,化学药品,选择性,侧蚀,均匀性,金属层,有机物,基板,芯片制造,工作温度,传统,
【工作单位】 北京科技大学
【曾工作单位】 北京科技大学;
【所在地域】 北京
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