靖向萌
【姓名】 靖向萌
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 SU-8,UV-LIGA,侧壁粗糙度,微结构,高深宽比,微机电系统,去胶剂,桩基,金属结构,电铸,去除技术,负性光刻胶,曝光量,种子层,胶模,铸金属,制造工艺,薄膜电极,法化学,牺牲层技术,辅助剥离,...
【工作单位】 上海交通大学
【曾工作单位】 上海交通大学;
【所在地域】 上海
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[1]张晔;陈迪;李建华;靖向萌;倪智萍;朱军;.降低SU-8光刻胶侧壁粗糙度的研究[J]压电与声光.2007,(01)
[2]崔峰;靖向萌;赵小林;丁桂甫;张卫平;陈文元;.SU-8胶模去除技术[J]微细加工技术.2007,(01)
[3]黄闯;陈迪;靖向萌;陈翔;刘景全;朱军;魏文婕;魏泽勇;李宏强;.基于微机电系统工艺的微型左右手复合传输线宽带滤波器[J]机械工程学报.2008,(11)
[4]靖向萌;陈迪;黄闯;陈翔;刘景全;Gunter Engelmann;.面向未来需求的细间距电化学沉积金凸点工艺(英文)[J]功能材料与器件学报.2008,(01)
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中国博士学位论文全文数据库    共找到1篇
[1]靖向萌.MEMS探卡的设计及制备工艺研究[D].上海交通大学.2008
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