荀本鹏
【姓名】 荀本鹏
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;电信技术;
【研究方向】
【发表文献关键词】 表面波等离子体,中性环路放电,等离子体源,钼,薄膜晶体管,反应离子刻蚀,刻蚀速率,放电等离子体,均匀度,选择比,干法刻蚀,电学特性,气体比例,气压,高深宽比刻蚀,液晶,结构简单,功率,电子回旋共振等离...
【工作单位】 电子科技大学
【曾工作单位】 电子科技大学;
【所在地域】 四川成都
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[1]荀本鹏;邱海军;姜斌;.新型等离子体源及其应用[J]微细加工技术.2006,(04)
[2]荀本鹏;邱海军;姜斌;王章涛;.液晶阵列工艺中金属钼的干法刻蚀研究[J]真空科学与技术学报.2007,(01)
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