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荀本鹏
【姓名】
荀本鹏
【职称】
【研究领域】
无线电电子学;电信技术;
【研究方向】
【发表文献关键词】
表面波等离子体,中性环路放电,等离子体源,钼,薄膜晶体管,反应离子刻蚀,刻蚀速率,放电等离子体,均匀度,选择比,干法刻蚀,电学特性,气体比例,气压,高深宽比刻蚀,液晶,结构简单,功率,电子回旋共振等离...
【工作单位】
电子科技大学
【曾工作单位】
电子科技大学;
【所在地域】
四川成都
学术成果产出统计表
今年新增
/文献篇数
核心期刊论文数
基金论文数
第一作者篇数
总被引频次
总下载频次
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1351
文献数(该学者统计年度当年发文总文献数)
被引频次(该学者统计年度当年发文总被引频次)
浏览趋势(该学者统计年度当年发文总浏览频次)
下载频次(该学者统计年度当年发文总下载频次)
学术成果产出明细表
中国期刊全文数据库
共找到2篇
[1]荀本鹏;邱海军;姜斌;.
新型等离子体源及其应用
[J]微细加工技术.2006,(04)
[2]荀本鹏;邱海军;姜斌;王章涛;.
液晶阵列工艺中金属钼的干法刻蚀研究
[J]真空科学与技术学报.2007,(01)
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中国优秀硕士学位论文全文数据库
共找到1篇
[1]荀本鹏.
大尺寸面板液晶显示屏阵列工艺中的金属钼刻蚀研究
[D].电子科技大学.2007
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研究方向相近的学者
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傅绍云
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姚英
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合作过的学者
(学者,学者单位,篇数)
姜斌
电子科技大学
2
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该学者文献引用过的学者
(学者,学者单位,篇数)
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中国科学院等离子体物理研...
1
欧琼荣
中国科学院等离子体物理研...
1
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