徐德权
【姓名】 徐德权
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;物理学;自动化技术;
【研究方向】
【发表文献关键词】 离子束刻蚀机,离子束刻蚀,条形射频离子源,射频离子源,束流密度均匀性,选择比,束阑,衍射光学元件,大口径衍射光学元件,光学材料,氧化铪,光刻胶光栅,离子能量,工作气体,性能,三氟甲烷,加速电压,刻蚀速...
【工作单位】 中国科学技术大学
【曾工作单位】 中国科学技术大学;
【所在地域】 合肥
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[1]徐朝银;董晓浩;赵飞云;高飞;徐德权;凤良杰;阎佐健;孙继武;.KZ-400离子束刻蚀装置的研制[J]真空科学与技术学报.2006,(01)
[2]董晓浩;刘颖;赵飞云;徐德权;徐向东;周银贵;汪啸;姚传荣;洪义麟;付绍军;徐朝银;.条形射频源大口径离子束刻蚀机性能(英文)[J]中国科学技术大学学报.2007,(Z1)
[3]刘颖;徐德权;徐向东;周小为;洪义麟;付绍军;.几种常用光学材料的离子束刻蚀特性研究[J]中国科学技术大学学报.2007,(Z1)
[4]徐作冬;刘颖;徐向东;徐德权;付绍军;.衍射光学元件的扫描刻蚀深度在线检测[J]微细加工技术.2008,(04)
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