于旭
【姓名】 于旭
【职称】
【研究领域】 自动化技术;汽车工业;
【研究方向】
【发表文献关键词】 集成电路,硅片传输机器人,研究现状,洁净度,真空度,发展历史,运动控制卡,九十年代,末端执行器,生产线,制造装备,传输系统,制造技术,洁净环境,自由度,重复定位精度,重要组成部分,可靠性,大连理工大学...
【工作单位】 大连理工大学
【曾工作单位】 大连理工大学;
【所在地域】 辽宁大连
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[2]于旭.硅片传输机器人设计及轨迹规划[D].大连理工大学.2007
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