陈家荣
【姓名】 陈家荣
【职称】
【研究领域】 工业通用技术及设备;无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 表面形貌,调制中断,GaN薄膜,PECVD,氮化硅,磁场线圈,沉积速率,折射率,等离子体增强化学气相沉积,生长技术,外延薄膜,反射式高能电子衍射,原子力显微镜,束流,扫描电子显微镜,外延层,摇摆曲线,...
【工作单位】 中国科学院固体物理研究所
【曾工作单位】 中国科学院固体物理研究所;
【所在地域】 安徽
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[1]陈家荣;陈文锦;邱凯;马文霞;.磁场辅助等离子体增强化学气相沉积[J]真空.2007,(01)
[2]钟飞;邱凯;李新化;尹志军;姬长建;韩奇峰;曹先存;陈家荣;段铖宏;周秀菊;王玉琦;.采用铟束流保护下的调制中断生长技术改善(0001)GaN表面形貌[J]半导体学报.2007,(08)
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