刘英坤
【姓名】 刘英坤
【职称】 教授;研究员;
【研究领域】 无线电电子学;电力工业;工业经济;
【研究方向】 硅微波功率器件的研制工作
【发表文献关键词】 水,等离子体增强化学汽相淀积,硅,功率,二氧化硅膜,Mo栅工艺,正硅酸乙酯,VDMOSFET,CVD新技术,内匹配,功率晶体管,微波功率,介质膜,DMOS,TEOS,极效率,工艺仿真,Tsuprem4...
【工作单位】 中国电子科技集团第十三研究所
【曾工作单位】 中国电子科技集团第十三研究所;
【所在地域】 石家庄
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