徐敬波
【姓名】 徐敬波
【职称】
【研究领域】 自动化技术;无线电电子学;金属学及金属工艺;
【研究方向】 MEMS设计
【发表文献关键词】 SOI,MEMS,加速度传感器,压阻效应,集成传感器,封装过程,有限元模型,残余应力,形貌检测,散射测量,分形粗糙表面,数值仿真,压敏电阻,传感器芯片,温度传感器,压力传感器,封装应力,杨氏模量,悬臂...
【工作单位】 西安交通大学
【曾工作单位】 西安交通大学;
【所在地域】 西安
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[1]孙剑;赵玉龙;苑国英;蒋庄德;徐敬波;.一种压阻式三轴加速度传感器的设计[J]传感技术学报.2006,(05)
[2]徐敬波;赵玉龙;蒋庄德;孙剑;.集成传感器芯片的封装应力分析[J]西安交通大学学报.2006,(11)
[3]徐敬波;蒋庄德;赵玉龙;宋康;.多光束在分形粗糙表面散射的仿真[J]光子学报.2006,(12)
[4]徐敬波;赵玉龙;蒋庄德;张大成;杨芳;孙剑;.基于SOI的集成硅微传感器芯片的制作[J]半导体学报.2007,(02)
[5]徐敬波;赵玉龙;蒋庄德;孙剑;.一种集成三轴加速度、压力、温度的硅微传感器[J]仪器仪表学报.2007,(08)
[6]徐敬波;赵玉龙;蒋庄德;宋康;.一种粗糙面双站散射非定常迭代算法[J]计量学报.2008,(02)
[7]赵玉龙;徐敬波;蒋庄德;孙剑;.一种硅微多传感器集成研究[J]传感技术学报.2008,(03)
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