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王家鑫
【姓名】
王家鑫
【职称】
【研究领域】
无线电电子学;工业通用技术及设备;材料科学;
【研究方向】
等离子体与物质的相互作用的研究
【发表文献关键词】
粉粒纯化,工艺参数,鞘层,太阳级硅,反应室,氩等离子体,沉降时间,阴极电压,离子浓度,平均动能,硅粉,纯化效果,沉降过程,总压力,关系曲线,运动学模型,放电参数,粒度,厚度,理论计算,
【工作单位】
华中科技大学
【曾工作单位】
华中科技大学;
【所在地域】
湖北武汉
学术成果产出统计表
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/文献篇数
核心期刊论文数
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第一作者篇数
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学术成果产出明细表
中国期刊全文数据库
共找到1篇
[1]王飞;尹盛;王家鑫;陈亮亮;.
直流氩等离子体硅粉纯化工艺的研究
[J]功能材料.2007,(08)
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中国优秀硕士学位论文全文数据库
共找到1篇
[1]王家鑫.
冷等离子体刻蚀硅的纯化效应研究
[D].华中科技大学.2007
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中国重要会议全文数据库
共找到1篇
[1]王家鑫;尹盛;王飞;王敬义;.
硅粉在冷等离子体中的刻蚀纯化
[A].第六届中国功能材料及其应用学术会议论文集(2).2007-11-01
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