惠金河
【姓名】 惠金河
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;工业通用技术及设备;
【研究方向】
【发表文献关键词】 离子源,束散角,束流密度分布,聚焦束,屏栅极,引出系统,磁场结构,放电室,密度匹配,等离子体密度,导流系数,均匀性,总束流,阳极,毫安,均匀度,放电等离子体,设计,归一化,多极场,
【工作单位】 兰州空间技术物理研究所
【曾工作单位】 中国空间技术研究院兰州物理研究所;
【所在地域】 甘肃兰州
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[1]黄良甫;李守忠;谈治信;惠金河;周献文;周先明;.声表面波沟槽器件反射栅的离子束刻蚀[J]真空科学与技术.1983,(06)
[2]黄良甫;李宁忠;谈治信;惠金河;牟金昌;.低能大面积均匀束和聚焦束离子源[J]真空科学与技术.1983,(05)
[3]谈治信;惠金河;.LSK—3型离子束刻蚀机的结构设计[J]真空与低温.1993,(03)
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