张坤
【姓名】 张坤
【职称】 高级工程师;
【研究领域】 无线电电子学;自动化技术;
【研究方向】 CCD的设计和研制工作
【发表文献关键词】 刻蚀速率,反应离子刻蚀,卫星,CCD图象传感器,应用,选择比,图像传感器,像元尺寸,CHF3,高分辨率,可见光,SF_6,地面分辨率,相机,硅材料,混合气体,照相侦察,遥感器,摄像机,技术发展,光学成...
【工作单位】 中国电子科技集团第四十四研究所
【曾工作单位】 中国电子科技集团第四十四研究所;
【所在地域】 重庆
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[1]张坤;.国外星用CCD图像传感器的研制现状[J]中国电子科学研究院学报.2007,(03)
[2]周宏,赖建军,赵悦,柯才军,张坤,易新建.SF_6/O_2/CHF_3混合气体对硅材料的反应离子刻蚀研究[J]半导体技术.2005,(06)
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