学者知网节

【姓名】	程嘉
【职称】
【研究领域】	无线电电子学;电力工业;仪器仪表工业;
【研究方向】
【发表文献关键词】	感应耦合等离子体,计算流体力学软件,干法腐蚀工艺,气压分布,电子数密度,电子温度,质量流量,仿真研究,气流分布均匀性,等离子体刻蚀,刻蚀,屏蔽板,电极表面,放电模拟,孔隙率,热传递模型,反应,等离子体...
【工作单位】	清华大学
【曾工作单位】	清华大学;
【所在地域】	北京

中国期刊全文数据库 共找到18篇

[1]王豪;程嘉;王昭政;季林红;王中林;.用于人类健康的摩擦纳米发电机（英文）[J]Science Bulletin.2021,(05)

[2]路益嘉;季林红;程嘉;.Simulation of Dual-Electrode Capacitively Coupled Plasma Discharges[J]Plasma Science and Technology.2016,(12)

[3]王春财;程嘉;路益嘉;季林红;.喷淋孔结构流体动力学特性研究[J]真空科学与技术学报.2015,(12)

[4]孙钰淳;程嘉;路益嘉;季林红;王春财;.静电卡盘与晶圆之间的接触热阻研究[J]真空科学与技术学报.2016,(01)

[5]王珂晟;程嘉;钟音;季林红;.A novel measuring method of clamping force for electrostatic chuck in semiconductor devices[J]Journal of Semiconductors.2016,(04)

[6]孙钰淳;程嘉;路益嘉;侯悦民;季林红;.Design space of electrostatic chuck in etching chamber[J]Journal of Semiconductors.2015,(08)

[7]孙钰淳;程嘉;路益嘉;侯悦民;季林红;.静电卡盘与晶圆之间稀薄气体传热的影响因素[J]清华大学学报(自然科学版).2015,(07)

[8]王春财;程嘉;季林红;路益嘉;孙钰淳;林嘉;.基于Delaunay三角形网格的2维DSMC算法实现及应用[J]清华大学学报(自然科学版).2015,(10)

[9]王兴阔;程嘉;王珂晟;杨义勇;孙钰淳;曹明路;季林红;.Finite element analysis on factors influencing the clamping force in an electrostatic chuck[J]Journal of Semiconductors.2014,(09)

中国重要会议全文数据库 共找到3篇

[1]张若凡;王人成;程嘉;陆益嘉;.直流磁控溅射系统辅助磁极轴向磁场的仿真与优化[A].中国真空学会2014学术年会论文摘要集.2014-11-07

[2]张若凡;王人成;程嘉;陆益嘉;.磁控溅射系统磁场相关研究概述[A].中国真空学会2014学术年会论文摘要集.2014-11-07

[3]张若凡;张可;吴晓晶;王人成;程嘉;陆益嘉;.IC装备多领域建模工艺仿真设计平台电磁模块开发与应用[A].中国真空学会2014学术年会论文摘要集.2014-11-07

今年新增/文献篇数	核心期刊论文数	基金论文数	第一作者篇数	总被引频次	总下载频次
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