杜亚利
【姓名】 杜亚利
【职称】
【研究领域】 工业通用技术及设备;物理学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 磁控溅射法,ZnO薄膜,射频功率,结晶性,光学性能,溅射功率,高质量,氧气,晶面取向,透射率,压应力,制备参数,晶粒尺寸,择优取向,结晶质量,应力状态,比例,晶粒尺度,点阵常数,过渡层,
【工作单位】 西安工程大学
【曾工作单位】 西安工程大学;
【所在地域】 陕西西安
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[3]余花娃;杜亚利;王晶;刘静;.磁控溅射制备参数对ZnO薄膜结构和光学性能的影响[J]纺织高校基础科学学报.2007,(02)
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