章晨
【姓名】 章晨
【职称】
【研究领域】 工业通用技术及设备;
【研究方向】
【发表文献关键词】 铝膜,表面粗糙度,溅射功率,溅射时间,AFM,原子力显微镜,颗粒尺寸,直流溅射,薄膜,磁控溅射技术,溅射条件,射频溅射,表面形貌,颗粒大小,平均粗糙度,颗粒直径,三维形貌,玻片,颗粒分布,性能分析,
【工作单位】 华南理工大学
【曾工作单位】 华南理工大学;
【所在地域】 广东广州
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[1]何建梅;温浪明;章晨;张勋;郑锡鑫;庄炜培;张红;徐海红;.磁控溅射Al膜的AFM性能分析及其制备工艺研究[J]物理实验.2007,(08)
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