徐晓飞
【姓名】 徐晓飞
【职称】
【研究领域】 自动化技术;
【研究方向】
【发表文献关键词】 集成电路,硅片传输机器人,研究现状,洁净度,真空度,发展历史,运动控制卡,九十年代,末端执行器,生产线,制造装备,传输系统,制造技术,洁净环境,自由度,重复定位精度,重要组成部分,可靠性,大连理工大学...
【工作单位】 大连理工大学
【曾工作单位】 大连理工大学;
【所在地域】 辽宁大连
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[1]丛明;于旭;徐晓飞;.硅片传输机器人的发展及研究现状[J]机器人技术与应用.2007,(04)
[2]丛明;徐晓飞;代朋磊;.面向IC制造的轨道导引车系统[J]机器人技术与应用.2008,(06)
[3]丛明;徐晓飞;杨明生;穆从义;.玻璃基板搬运机器人的设计[J]组合机床与自动化加工技术.2008,(10)
[4]丛明;徐晓飞;刘静;石会立;崔冬梅;.FPD玻璃基板搬运机器人研究[J]机器人技术与应用.2008,(04)
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