王翊
【姓名】 王翊
【职称】
【研究领域】 仪器仪表工业;无线电电子学;电信技术;
【研究方向】
【发表文献关键词】 红外辐射,热电堆,微电子机械系统,红外探测器,多晶硅,微机械,响应率,探测率,红外吸收,响应时间,支撑臂,干法刻蚀,成品率,器件性能,腐蚀时间,湿法腐蚀,塞贝克系数,绝热结构,薄膜生长,兼容,
【工作单位】 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
【曾工作单位】 中国科学院上海微系统与信息技术研究所;
【所在地域】 上海
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