姚刚
【姓名】 姚刚
【职称】 工程师;
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】 于半导体设备的维修
【发表文献关键词】 反应离子刻蚀,故障树分析法,最小割集,刻蚀设备,等离子体密度,感应耦合等离子,刻蚀速率,半导体器件,设备故障诊断,真空系统,刻蚀技术,定性分析,化合物,半导体,系统可靠性,底事件,刻蚀工艺,顶事件,工...
【工作单位】 中国电子科技集团第十三研究所
【曾工作单位】 中国电子科技集团第十三研究所;
【所在地域】 河北石家庄
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[1]姚刚;.故障树分析法在半导体设备故障诊断中的应用[J]半导体技术.2007,(03)
[2]姚刚;石文兰;.ICP技术在化合物半导体器件制备中的应用[J]半导体技术.2007,(06)
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