陈敏娜
【姓名】 陈敏娜
【职称】
【研究领域】 电力工业;无机化工;
【研究方向】 微电子器件的电镀研究
【发表文献关键词】 铜互连技术,添加剂,脉冲电镀,粗糙度,极化曲线,抑制剂,加速剂,铜镀层,铜互连线,平整性,超大规模集成电路,电镀铜,结构形貌,电镀液,电化学,覆盖度,细化晶粒,不同浓度,标准浓度,工作站,
【工作单位】 复旦大学
【曾工作单位】 复旦大学;
【所在地域】 上海
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