景玉鹏
【姓名】 景玉鹏
【职称】 研究员;
【研究领域】 无线电电子学;自动化技术;工业通用技术及设备;
【研究方向】 硅表面加工技术和气敏传感器的研究开发工作
【发表文献关键词】 RFMEMS技术,RFMEMS开关,电磁驱动,工作电压,驱动力,MEMS,牺牲层,粘连现象,拉起长度,突点,自终止,升华,释放过程,二氧化硅薄膜,腐蚀速度,腐蚀速率,应力传感器,悬臂梁,电压比较,悬浮...
【工作单位】 中国科学院微电子研究所
【曾工作单位】 中国科学院微电子研究所;
【所在地域】 北京
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中国期刊全文数据库    共找到23篇
[1]康恒;李勇滔;李超波;景玉鹏;.一种电容薄膜真空计检测电路的设计[J]仪表技术与传感器.2019,(03)
[2]黄洛俊;康恒;程嵩;李勇滔;夏洋;景玉鹏;.超临界CO_2清洗技术在CMOS图像传感器中的应用[J]微纳电子技术.2017,(04)
[3]黄洛俊;康恒;程嵩;李勇滔;夏洋;景玉鹏;.微波用于抑制光刻胶纳米线条倒伏的研究[J]微电子学.2017,(05)
[4]康恒;林琳;符庭钊;李勇滔;夏洋;景玉鹏;.微波在半导体退火工艺中的应用[J]微纳电子技术.2017,(12)
[5]于明岩;赵士瑞;景玉鹏;施云波;陈宝钦;.A method to restrain the charging effect on an insulating substrate in high energy electron beam lithography[J]Journal of Semiconductors.2014,(12)
[6]于明岩;施云波;赵士瑞;郭晓龙;徐昕伟;景玉鹏;陈宝钦;.应用微波技术抑制光刻胶图形的坍塌与黏连[J]光学精密工程.2015,(01)
[7]赵士瑞;董亚斌;于明岩;郭晓龙;徐昕伟;景玉鹏;夏洋;.Microwave annealing effects on ZnO films deposited by atomic layer deposition[J]Journal of Semiconductors.2014,(11)
[8]王磊;惠瑜;高超群;景玉鹏;.Novel photoresist stripping technology using steam-water mixture[J]半导体学报.2011,(02)
[9]孔延梅;高超群;景玉鹏;陈大鹏;.基于光子晶体分光的气敏传感器研究[J]物理学报.2011,(05)
[10]郭新贺;王磊;景玉鹏;.干冰微粒喷射清洗技术[J]微纳电子技术.2012,(04)
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[1]杨楷;李志刚;景玉鹏;陈大鹏;.MEMS传感器电学参数批测试平台示值误差测量结果的不确定度评定[A].2007'仪表，自动化及先进集成技术大会论文集（一）.2007-12-01
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[1]景玉鹏.新型半导体清洗技术[A].中国科学院微电子研究所.项目经费 10万元.2009-03-20.资助文献数 0 篇
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