陈樟
【姓名】 陈樟
【职称】
【研究领域】 材料科学;自动化技术;无机化工;
【研究方向】 航空宇航MEMS研究
【发表文献关键词】 力学性能测试,微机电系统,纳米压痕法,单轴拉伸,鼓膜法,性能测试方法,残余应力,性能参数,材料力学,膜弹性模量,屈服强度,断裂强度,曲率法,薄膜材料,梁弯曲,衬底,测量,试件,疲劳强度,优缺点,
【工作单位】 北京航空航天大学
【曾工作单位】 北京航空航天大学;
【所在地域】 北京
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[1]陈樟;苏伟;万敏;.单晶硅纳米压痕过程的有限元模拟与实验验证[J]微纳电子技术.2009,(02)
[2]万敏;陈樟;苏伟;.石英玻璃纳米压痕过程有限元模拟的正交实验分析(英文)[J]纳米技术与精密工程.2009,(02)
[3]万敏;陈樟;苏伟;何晓平;.微通道气体滑移流动的压力分布(英文)[J]纳米技术与精密工程.2009,(04)
[4]陈樟;苏伟;万敏;.MEMS材料力学性能测试方法[J]微纳电子技术.2007,(06)
[5]陈樟;苏伟;万敏;.微通道气体流动的格子波尔兹曼模拟[J]功能材料与器件学报.2008,(01)
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