徐香坤
【姓名】 徐香坤
【职称】 助教;
【研究领域】 自动化技术;工业通用技术及设备;物理学;
【研究方向】 信息自动化领域的教研工作
【发表文献关键词】 CVD镀膜机,温度控制器,气体流量,计算机控制系统,精度,不确定广义系统,鲁棒镇定,分散控制,脉冲能控,能稳,关联大系统,电气控制系统,闭环系统,孤立子系统,脉冲控制,渐近稳定,质量流量控制器,控制问...
【工作单位】 沈阳理工大学
【曾工作单位】 沈阳理工大学;
【所在地域】 辽宁抚顺
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[1]王庆;巴德纯;徐香坤;徐化冰;.PECVD镀膜机等离子体静电探针诊断[A].2008中国仪器仪表与测控技术进展大会论文集(Ⅰ).2008-06-01
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