郭健辉
【姓名】 郭健辉
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 SOI,SIMOX,氧离子注入机,高温靶室,强流离子束,加速管,微粒污染,金属污染,大束流,均匀性,离子源,研制成功,注入剂量,计算机控制,重复性,磁分析器,应用解决方案,磁四极透镜,控制系统,晶片,
【工作单位】 中国电子科技集团第四十八研究所
【曾工作单位】 中国电子科技集团第四十八研究所;
【所在地域】 湖南长沙
今年新增/文献篇数 核心期刊论文数 基金论文数 第一作者篇数 总被引频次 总下载频次
0/1 0 0 0 4 82
中国期刊全文数据库    共找到1篇
[1]唐景庭;伍三忠;贾京英;郭健辉;刘咸成;.一台专用强流氧离子注入机的研制[J]集成电路应用.2003,(02)
更多